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特点
Keysight 10719A 单轴差分干涉仪可在单轴和多轴测量应用中,执行差分线性测量或差分角测量。 线性测量将会测量两个对象之间的位移,例如工作台和光柱(optical column)或检测工具之间的位移。 10719A 还可测量俯仰角(pitch)或翻滚角(roll)。 当参考光束和测量光束测量同一个反射镜时,测量结果为一个角度。 10721A 对无效干涉仪位移(例如热膨胀)具有很高的抗扰度。 它是一种模块化的紧凑型设计,采用单片光学器件制成,机械稳定度大大增强。 它使用 3 mm 直径的小光束,有助于降低 Abbé 偏置误差。
10719A 包括一个剪切板,用于创建平行光束路径;一个逆向反射镜,用于控制光束路径;以及两个 1/4 波片。
在进行线性测量时,用户必须提供参考反射镜和测量反射镜。
在进行角位移测量时,用户必须提供一个反射镜,用于反射参考光束和测量光束。
参见用于双轴差分测量的 10721A。
- 应用:一种差分线性测量或一种角测量
- 独有的特性:差分
- 轴数:1
- 最大光束直径:3 mm
- 光束间距:19.05 mm(0.75 英寸)
- 重量:300 g(10.6 盎司)
- 基本光分辨率:λ/4(158.2 nm,6.2 µin),1.71 弧秒(8.3 µrad)
- 系统分辨率:λ/128(5 nm,0.2 µin),0.054 弧秒(0.26 µrad),使用 32 倍电子分辨率扩展
- 系统分辨率:λ/1024(0.62 nm,0.024 µin),0.007 弧秒(0.03 µrad),使用 256 倍电子分辨率扩展
- 反射镜:定制
- 使用的安装架座:定制
- 参考:有
- 可调谐配置:无
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