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符合的结果
特点
- 光束
• 直径：6 mm（0.24 英寸）
• 间距：11 mm（0.43 英寸） - 分辨率
• 基本光学：λ/2（316.5 nm，12.5 µin）
• 系统分辨率：
- λ/64（10 nm，0.4 µin），使用 32 倍电子分辨率扩展
- λ/512（1.2 nm，0.047 µin），使用 256 倍电子分辨率扩展 - 重量：312 g（11 盎司）
- 需要的反射器：10767A
- 使用的安装架座：10785A
Keysight 10766A 线性干涉仪适用于一般的单轴测量；也可以用于干涉仪是运动部件（而不是测量反射器）的应用。 它配有坚固、耐热的不锈钢外壳。
在光学结构上与 10702A 选件 001 相同， 但 10766A 配有更坚固的外壳和公制螺纹。
10766A 需要一个 10767A 线性反射器作为参考反射器使用。 完整的线性测量光纤套件还包含另一个 10767A 或更轻巧的 10703A（注意，55280B 线性测量套件包含所需的全部光器件以及安装硬件）。 干涉仪可以用于使光束转向。 它无需经过任何修改，便可用作运动元件。
进行差分操作时，需要去掉 10767A 线性反射器，并将其连接到指定的参考面。
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