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特点
一般特性
- 线性光学的最大速度:2 m/s
- 参考频率:>= 7.0 MHz;选件 300:7.2 MHz
- 重量:3.2 kg(7 磅)
- 预热时间:45 分钟(风扇和排气装置连接到通风盖)
激光束
- 直径:6 mm;选件 009:9 mm
- 最小输出功率:65 µW(3 年后为 50 µW)
- 最大输出功率:1 mW
- 光束高度:80.8 ± 1.0 mm
输入功率要求
- +15 V ± 0.3 V(2.2 A 最大值)
- -15 V ± 0.3 V(0.03 A 最大值)
Keysight 5517FL 的主要用途包括基于 VME 和 PC 的激光干涉仪系统等运动速度较快的应用,例如半导体光刻和平板应用。 请联系是德科技了解定制要求。
了解关于激光干涉仪定位测量系统的更多信息
主要技术指标
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 65
Reference frequency (MHz)
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
2152**
> 65
>= 7.0
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 65
Reference frequency (MHz):
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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