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HIGHLIGHTS
最大量程
- 最高 15 m（50 英尺）
精度
- 显示值的 ±0.2%
分辨率（按英尺步进）
- 0.002 μm（2 英寸）
- 0.003 μm（4 英寸）
- 0.005 μm（6 英寸）
参考面精度
- 平板平坦度测量的不确定度受两个平行面的限制：
- 公制单位模式：0.03 M2 µm，其中 M 为表面对角线长度（单位：米）
- 英制单位模式：0.12 F2 µin，其中 F 为表面对角线长度（单位：英尺）
Keysight 55282A 平坦度辅助套件与 55281A 角度光学套件结合使用，支持 5530 激光校准系统执行平坦度和导轨直线度测量。
55282A 平坦度辅助套件由一个 10759A 底座支持套件和两个 10773A 平面镜组成。底座支持套件包括三个精密底板，焊盘间距分别为 50.8 mm（2 英寸）、101.6 mm（4 英寸）和 152.4 mm（6 英寸），这样可以最大限度地缩短平板校准所需要的网格设置和数据累积时间。平面镜可以提供 100% 的反射率，使入射激光束的方向旋转 90 度。
Keysight 55282A 平坦度辅助套件是光学测量器件系列的一个元器件，可对干涉仪系统进行量身定制，以满足各种应用的物理版图和测量要求。通过配备恰当的激光头和系统电子元件，这个光器件可整合到精密定位或校准系统中，用于改善产品质量，提高良率，以及促进精密产品的制造。
- 使用旋转底板安装平面镜，可以简化平板校准
- 与传统的自动准直仪和水平仪相比，测量和分析速度更快，精度和可重复性更高
- 平板表面上不能放置发热物体
- 适用于是德科技的各种系统，包括 5530 激光校准系统
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