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HIGHLIGHTS
一般特性
- 通过指示灯显示继电器状态，可以快速验证和调试测量设置
- 支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作
- Keysight EasyEXPERT 软件可以通过直观的 GUI 控制和自动执行开关设置
- 优化的 CV 输入包括综合的 EasyEXPERT 软件电容补偿
测量能力
- 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU，通过开关可实现 1 毫微微安的测量分辨率
- < 2 秒的瞬时电流稳定时间（< 50 fA）（10 V 输入步进）：这是补充数据
- 30 MHz 带宽（- 3 dB）
- 为低电流（三轴）路径提供 100 T 欧姆的通道隔离
体系结构
- 8 路低电流（三轴）输入和 6 路通用（同轴）输入
- 模块化设计支持 x12、x24、x36 和 x48 三轴输出配置
- 14 条内部路径（无多路复用的输入）
- 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探头卡接口
本页内容：行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品
B2200A 可自动执行表征测试，从而降低测试成本，同时不会影响半导体参数分析仪的测量性能。它支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表，并可在未来进行扩展。此外，它还具有 14 路输入，每路输入都使用唯一的内部测量路径，其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。
行业挑战
对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量，可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降，甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵，可以自动执行表征测试，在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间，又节省测试成本。
许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如，许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能，成为测量链中最薄弱的环节。如果内部路径数量不足，那么开关矩阵就无法支持 4 终端完全 Kelvin 测量和电容表，而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后，如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿，以消除因路径长度而产生的测量失真，那么这些测量结果也将会是不准确的。
摘要
无与伦比的开关矩阵性能
B2200A fA 级低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能，没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 1 fA 测量，意味着它不会降低半导体参数分析仪的高性能。输入数量足够多，则可以支持4-SMU 完全 Kelvin 配置。所有 14 路输入对应唯一的内部路径，因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同，它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差，确保电容测量结果不会出现失真；此外，系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置，使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板，使操作人员可以非常灵活地进行操作。
- 紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
一流的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2200A 开关矩阵能够支持 1 fA 测量分辨率，紧跟半导体参数分析仪性能的步伐，而不会损失任何测量性能。 - 避免多路复用的测量限制
避免花费很长时间手动切换 B2200A 的 14 条内部测量路径，因而延误测量进度。每路输入都有自己唯一的内部路径，使您可以同时使用所有输入。 - 准确的电容测量
在测量电容时，电缆长度（包括矩阵中的路径）对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入，B2200A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差，提供补偿参数以确保测量结果不失真。
特性和优势
| 特性 | 优势： |
|---|---|
| 1 毫微微安（femtoamp）分辨率的电流测量能力 | 开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。 |
| 8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 | 支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表，并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展； |
| 14 条可同时使用的内部路径 | 使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。 |
| 电容测量补偿特性 | 校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差，使您可以通过开关矩阵准确测量电容。 |
| LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 | 通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态，使您能够对测量结构进行离线调试。 |
| 30 MHz 带宽 | 您可以通过 B2200A 开关使用脉冲发生器等仪器。 |
元器件
- B2200A fA 级低泄漏开关主机
- B2210A fA 级低泄漏开关模块
主要技术指标
| B2200A | |
|---|---|
| 技术指标 | 值 |
| 端口数 | |
| I-V 端口 | 8 个三轴端口（包括 Guard 端口） |
| AUX 端口 | 6 个 BNC 端口（2 个 CV 端口） |
| 输出通道 | 可使用三轴端口（包括 Guard 端口）、x12、x24、x36 和 x48 配置 |
| 插槽数 | 4 个插槽，用于插入 48 毫米高的开关模块 |
| B2210A | |
|---|---|
| 技术指标 | 值 |
| 最大额定电流 | |
| I-V 端口 | 1.0 A |
| AUX 端口 | 0.5 A |
| 最大额定电压 | |
| I-V 端口（其他通道） | 200V |
| I-V 端口（通用） | 300V |
| AUX 端口（其他通道） | 100V |
| AUX 端口（通用） | 100V |
| 通道隔离 | |
| I-V 端口 | 1 x 10^14（欧姆） |
| AUX 端口 | 1 x 10^9（欧姆） |
| 偏置电流（补充） | |
| IV 端口 | 50 fA |
| IM 噪声（RMS）（补充） | |
| I-V 端口 | 5 fA |
| 其他电容测量误差（补充） | < ± 1 % + 0.2 pF |
| 带宽（--3 dB 时） | 30 MHz |
| 稳定时间（补充） | 2.0 秒（50 fA 时） |
相关是德产品
主要技术指标
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