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支持双轴和三轴测量的干涉仪可以提高精度、减少调整时间并节省高性能多轴系统的空间。
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Keysight 10735A 三轴干涉仪适用于需要对平台进行线性和角度控制的多轴应用。
E1715A 三轴紧凑型干涉仪采用是德科技先进的单片光学设计技术，可以满足对低非线性误差的要求。
Keysight 10721A 双轴差分干涉仪在多轴测量应用中使用时，可同时执行两项差分测量。
The Keysight 10736A three axis interferometer is used in multiple axis applications where linear and angular control of the stage is required.
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