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线性、单光束和平面镜干涉仪可测量单一轴向上的动作。
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The Keysight 10705A single beam interferometer is designed for making low mass or limited space single axis measurements.
The Keysight 10706B high stability plane mirror interferometer is a dual pass interferometer used for multiple axis applications such as X-Y stages.
The Keysight 10702A linear interferometer, the basic interferometer for linear measurements, enables general purpose single axis measurements.
Keysight 10706A 平面镜干涉仪是双通干涉仪，适用于 X-Y 工作台等多轴应用。
Keysight 10716A 高分辨率干涉仪适用于单轴和多轴测量应用，例如高精度 X-Y 工作台。
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