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SPECS 和 SPECS-FA 软件

享誉业界数十年的参数测试环境

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特点

软件、附件、服务

资源

特点

SPECS（半导体制程评测核心软件）

Keysight SPECS 是一个测试外壳环境，适用于运行 Linux 操作系统的 4080 系列参数测试系统。它的代码与 4070 系列的测试计划和算法兼容，因此可显著降低系统过渡成本，让您能够充分利用现成的代码，还可以采用最新的低成本 Linux 环境降低拥有成本。

Keysight SPECS-FA 是 Keysight SPECS 测试外壳程序的工厂自动化版本，在 4080 系列参数测试系统上运行。

它还提供了 Keysight VMT（虚拟多测试头）技术，用于执行先进的异步和同步并行测试，让各个测量任务可以独立运行，从而大幅提高测量吞吐量。

SPECS 软件

SPECS（半导体制程评测核心软件）为是德科技参数测试系统提供了一个交互式的自动化综合测试环境。测试开发环境采用了直观的 GUI（图形用户界面），让操作人员和测试工程师可以通过简单易用的界面完成开发工作，并且支持模块化测试计划。

SPECS 的主要特性

为 Keysight 4080 系列提供了一个交互式的自动化综合测试环境
测试开发环境采用了直观的图形用户界面，并且支持模块化测试计划
算法开发工具包括算法库、调试工具和自动测试代码生成功能
能够在线生成测试报告，供您进行数据分析，还可链接到数据库并与其配合使用

SPECS-FA 软件

SPECS-FA（半导体制程评测核心软件——工厂自动化）是一款以 SPECS 测试外壳程序为基础开发的、用于是德科技参数测试仪的工厂自动化软件解决方案。 SPECS-FA 可帮助晶圆制造商快速提高产量，持续改进，以及高效部署设备和监测制程。

SPECS-FA 的主要特性

通过灵活的测试控制和多种方式的管理功能，实现工厂自动化
支持 SEMI 标准 E5（SECS II）、E30（GEM）、E87（CMS）、E39（OSS）、E40（PMS）、E90（STS）和 E94（CJM）
实时报告参数测试系统和晶圆探针台的状态

VMT（虚拟多测试头）技术

提高吞吐量对于降低晶圆量产过程中的测试成本至关重要。配有 SPECS 的 Keysight 4080 系列参数测试系统采用了 VMT 技术并获得了软件许可证。这一技术允许各个测量任务独立运行。与传统的并行测试方案不同，它不会浪费任何测量资源。一旦一组资源完成测量，它会立即开始下一项测量。这就好像在单个测试仪中拥有多个独立的测试头一样，大大提高了测量吞吐量。